Особенности:
- безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
- ионно-плазменная очистка подложек;
- контроль напыляемого слоя по системе зеркал;
- пневматический привод заслонки ;
- безшестереночный барабан вращения подложек;
- регулируемый по скорости привод барабана;
- изменена конструкция коллектора для передачи информации о температуре и сопротивлении «свидетеля»;
- высоковакуумный тарельчатый затвор заменен на шиберный затвор.
Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.
Основные технические характеристики:
- Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 60;
- Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
- Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60.
Есть вопросы?
Оставьте заявку и мы вам перезвоним
