8 800 201 75 01
Понедельник-пятница с 09:00 до 18:00
+7 (4012) 996-701, info@ao-kvartz.ru
Важно знать
АО «Кварц» — один из флагманов развития отечественной электроники. Мы изготавливаем печатные платы по 4-5 классу точности (односторонние, двусторонние, многослойные, на алюминиевой основе). А также производим поверхностный и выводной монтаж.

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-71П-3М-1

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется одним испарителем для нанесения резистивных сплавов, двумя испарителями для нанесения металлических слоев и источником ионной очистки.

Установка обеспечивает:

  • безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов;
  • очистку поверхности подложки перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
  • нагрев подложек до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
  • автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
  • контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля.

Основные технические характеристики:

  • Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 19;
  • Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
  • Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60;
  • Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 60.

По желанию заказчика возможны изменения комплектности установки. Срок поставки установки 8-9 месяцев с момента предоплаты согласно заключенному договору.

Есть вопросы?

Оставьте заявку и мы вам перезвоним

Задать вопрос
Задать вопрос

* — Поля обязательные для заполнения