Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 5М»

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники.

Установка Оратория 5М обеспечивает:

• безмасляную (сухую) откачку  на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
• ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин;
• работу двух магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.;
• работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250;
• исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака;
• повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку;
• корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»);
• возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно;
• протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий;
• непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций;
• диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Основные технические характеристики:

• Одновременная загрузка подложек, размером 60х48 мм., 15 шт.;
• Одновременная разгрузка подложек, размером 76 мм., 15 шт.;
• Температура нагрева подложек, ^оС 100 — 500;
• Неравномерность толщины напыленных пленок, не более 3%;
• Глубина очистки пластин, не менее 10 нм.