Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 29М»

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники.

Установка «Оратория 29М» обеспечивает:

• безмасляную вакуумную откачку на базе криогенного насоса;
• автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин в кассету, счет загружаемых и выгружаемых пластин, световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин;
• ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин;
• работу трех магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.;
• работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250;
• исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака;
• повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку;
• корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»);
• возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно;
• протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий;
• непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций;
• диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Основные технические характеристики:

• Производительность установки, не менее пластин 100 в час;
• Регулируемая скорость конвейера 120-400 мм/мин.;
• Неравномерность толщины напыленных пленок, не более 3%;
• Глубина очистки пластин, не менее 10 нм.