Для установок вакуумного напыления УВН-73П-2, УВН-74П-3, УВН 74П-3М-1, УВН 74П-3М-2, УВН 74П-3М-3
Безшестереночный барабан для двустороннего нанесения покрытий с регулируемой скоростью вращения
Патент на изобретение №2572658 от 14.12.2015 г.
Безшестереночный барабан при сохранении основных технических параметров классической схемы имеет ряд особенностей:
- полное исключение недостатков старой конструкции, таких как, достаточно быстрый износ элементов шестереночных передач, образование металлической стружки в вакуумной камере, отсутствие точного геометрического позиционирования подложек над испарителями, касание подложкодержателей друг за друга и как следствие заклинивание всей системы;
- отсутствие необходимости регулировки и настройки в процессе всего срока эксплуатации;
- отсутствие загрязнения напыляемых пленок частицами от механизма поворота;
- простое техническое обслуживание;
- обеспечение, в сочетании с модернизированным блоком испарителей, разброса по толщине напыляемых пленок, не более ±10%;
- увеличение коэффициента выхода годных подложек.
Заслонка с пневмоприводом
Патент на изобретение №2651838 от 08.09.2016
Конструкция данной заслонки испарителей имеет ряд преимуществ по сравнению с существующей:
- электромеханический привод заменен на трехпозиционный пневматический привод;
- вместо конической передачи разработана оригинальная винтовая передача;
- лепестки быстросъемные, что позволяет без затруднений удалить с них продукты напыления;
- настройка раскрытия и закрытия створок на нужный угол со временем не нарушается, что исключает брак при напылении.
Электроколлектор
Патент на изобретение №2692704 от 26.06.19.
Ранее изготовленные коллекторы имеют ряд недостатков:
- скользящие точечные контакты интенсивно изнашиваются от трения;
- принимаемые сигналы с датчиков температуры и сопротивления «свидетеля» не соответствуют действительным, либо вообще пропадают, что приводит к браку продукции.
В запатентованном нами коллекторе используются плоские контакты с малым удельным сопротивлением и малым коэффициентом трения, в результате чего:
- многократно удлинён срок службы коллектора, за счёт снижения износа контактов;
- обеспечивается точность показаний датчиков температуры и сопротивления напыляемого покрытия.
Для установки вакуумного напыления УВН-71П-3
Комплект для подачи порошковых резистивных сплавов на термический испаритель
Новинкой комплекта является блок управления вибропитателем «Кварц», предназначенный для регулирования скорости потока резистивного порошкового сплава в широком диапазоне сопротивления напыляемой пленки как в ручном, так и в автоматическом режимах.
Меняя частоту и амплитуду вибраций чаши вибропитателя, можно использовать любые резистивные порошковые сплавы. Беспрепятственное скользящее движение частиц порошка обеспечивается за счет точной геометрии спиральной канавки, выполненной на станке ЧПУ, а также высоким классом шероховатости ее поверхности.
Блок управления вибропитателя универсальный. Его можно использовать как в установках, находящихся в эксплуатации, так и в новых разработках установок вакуумного нанесения резистивных слоев в широком диапазоне сопротивлений.
Блок управления вакуумной системой «Кварц»
Цена: по запросу
Блок управления вакуумной системой имеет запас функциональных возможностей, обеспечивающих универсальность его применения, как в создаваемой новой технике, так и для модернизации раннее выпускаемого оборудования.
Блок водораспределительный универсальный (БВР)
Цена: по запросу
Обмен данными между программируемым логическим контроллером блока и компьютером установки осуществляется через интерфейс Ethernet по протоколу ModBUS-RTU.
Для установок УВН-73П-2, УВН-74П-3
Электронный испаритель с кольцевым катодом
Габаритные размеры цилиндрического тигля испарителя: высота 35 мм, диаметр 32 мм, объем тигля 28 см3.
Основные характеристики:
- мощность БП испарителя 3 кВТ;
- максимальное выходное напряжение блока питания испарителя 3000 В;
- максимальный выходной ток блока питания испарителя 1.
Запасные части
На предприятии имеется большой выбор резинотехнических изделий к ранее выпускаемому нами оборудованию – кольца различных размеров и сечений, манжеты армированные и воротниковые, сильфоны гофрированные. РТИ могут быть изготовлены из вакуумной резины 9024, 7889, ИРП1345.
АО «Кварц» имеет большой станочный парк и современное оборудование, что позволяет изготавливать детали и узлы различной конфигурации и сложности, такие как каркасные изделия, вакуумные камеры, крышки и двери вакуумных камер, вакуумные шиберные затворы, вакуумные трубопроводы, направляющие для перемещения крышек, охлаждаемые столы – подложкодержатели для проведения процессов плазмохимического травления, а также другие изделия по желанию заказчика.
