Установка «Оратория 29М» обеспечивает:

• безмасляную вакуумную откачку на базе криогенного насоса;
• автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин в кассету, счет загружаемых и выгружаемых пластин, световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин;
• ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин;
• работу трех магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.;
• работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250;
• исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака;
• повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку;
• корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»);
• возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно;
• протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий;
• непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций;
• диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Основные технические характеристики:

• Производительность установки, не менее пластин 100 в час;
• Регулируемая скорость конвейера 120-400 мм/мин.;
• Неравномерность толщины напыленных пленок, не более 3%;
• Глубина очистки пластин, не менее 10 нм.

Установка Оратория 5М обеспечивает:

• безмасляную (сухую) откачку на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
• ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин;
• работу двух магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.;
• работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250;
• исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака;
• повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку;
• корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»);
• возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно;
• протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий;
• непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций;
• диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.

Основные технические характеристики:

• Одновременная загрузка подложек, размером 60х48 мм., 15 шт.;
• Одновременная разгрузка подложек, размером 76 мм., 15 шт.;
• Температура нагрева подложек, ^оС 100 — 500;
• Неравномерность толщины напыленных пленок, не более 3%;
• Глубина очистки пластин, не менее 10 нм.

Установка обеспечивает:

• безмасляную(сухую) откачку на базе форвакуумного и криогенного или турбомолекулярного насосов;
• работу 2-х электронно-лучевых испарителей мощностью 12 кВт нагрев подложек в диапазоне 100-350С;
• автоматическое выполнение программ от «загрузки до выгрузки»;
• контроль и автоматическое окончание процесса напыления по времени или по заданной толщине пленки;
• количество подложек на сферической карусели — 40шт.

Особенности:

• безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
• ионно-плазменная очистка подложек;
• контроль напыляемого слоя по системе зеркал;
• пневматический привод заслонки ;
• безшестереночный барабан вращения подложек;
• регулируемый по скорости привод барабана;
• изменена конструкция коллектора для передачи информации о температуре и сопротивлении «свидетеля»;
• высоковакуумный тарельчатый затвор заменен на шиберный затвор.

Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

Основные технические характеристики:

• Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 60;
• Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
• Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60.

Установка обеспечивает:

• безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов;
• очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока;
• нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
• автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»
• контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля».

Основные технические характеристики:

• Количество подложек размером 60х48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 40;
• Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
• Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60;
• Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. – 90.

Установка обеспечивает:

• безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов;
• очистку поверхности подложки перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
• нагрев подложек до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
• автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
• контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля.

Основные технические характеристики:

• Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 19;
• Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
• Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60;
• Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 60.

Комплекс осуществляет высокоскоростное ионно-плазменное осаждение многослойных защитных и упрочняющих покрытий на внешнюю поверхность деталей машин и режущего инструмента.
Комплекс имеет четыре рабочих камеры, объединенных шлюзовой системой и транспортными связями в линию вакуумного напыления.
Комплекс позволяет осуществить в едином вакуумном цикле следующие технологические операции:

• загрузка, нагрев и ионная очистка обрабатываемых изделий;
• напыление слоев на основе металлов методом электродугового распыления;
• напыление слоев монооксида кремния и диэлектрических материалов методом резистивного распыления
• напыление алмазоподобных слоев методом осаждения из углеродной плазмы и выгрузка.
• Компьютерное управление комплексом обеспечивает автоматическое с многостадийным процессом нанесения покрытий.

Полезный объем загрузочных устройств транспортирования обрабатываемых изделий: высота 1470 мм, ширина 935 мм, глубина 520 мм.
Максимальная площадь обрабатываемой поверхности 1.5 м.
Скорость напыления не менее 1.5 мкм/ч.
Количество дуговых испарителей — 6 шт.

• Количество испарителей для алмазоподобных покрытий — 8 шт.

Установка предназначена для нанесения износостойких упрочняющих и коррозийностойких покрытий на металлические детали ионно-плазменным методом. Установка используется для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов применяемых для металлообработки.
Установка обладает следующими техническими возможностями:

• термообработка, ионная очистка, нанесение проводящих и непроводящих покрытий на металлические изделия;
• проведение плазмохимических процессов синтеза веществ сложного состава на поверхности обрабатываемых изделий;
• проведение процессов ионной обработки изделий сложной формы без их вращения;
• автоматическое выполнение процесса по заданной программе.

Основные технические характеристики:

• максимальная масса загружаемых в камеру изделий 110 кг;
• скорость нанесения покрытия на одновременно обрабатываемую поверхность площадью 10000 см не менее 2 мкм/ч;
• ток дуги 2-х испарителей 80-300 А.

Предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Установка состоит из:

• рабочей вакуумной камеры вертикального типа с фронтальной дверью, изготовленной из нержавеющей стали;
• одного стационарного электродугового источника металлической плазмы, оснащенного системой отклонения плазмы;
• одного импульсного электродугового источника углеродной плазмы;
• источника ионов с замкнутым дрейфом электронов и ускорением ионов в анодном слое;
• гальванически изолированной от корпуса камеры планетарной карусели с вводом вращения;
• внутрикамерной заслонки с вводом вращения;
• системы откачки;
• блока водораспределения;
• стойки питания и управления.

Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также встроенным модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

• Размер камеры (мм) 440х360х550.
• Скорость вращения карусели (об/мин) 0-20.

Установка предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Установка состоит из:

• рабочей вакуумной камеры вертикального типа с фронтальной дверью, изготовленной из нержавеющей стали;
• двух электродуговых источников металлической плазмы, оснащенных системой отклонения плазмы;
• двух импульсных электродуговых источников углеродной плазмы;
• двух источников ионов с замкнутым дрейфом электронов и ускорением ионов в анодном слое;
• гальванически изолированной от корпуса камеры планетарной карусели с вводом вращения;
• внутрикамерной заслонки с вводом вращения;
• системы откачки;
• блока водораспределения;
• стойки питания и управления.

Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также встроенным модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

• Размер камеры (мм) 600Х700.
• Скорость вращения карусели (об/мин) 0-20.