АО «Кварц» специализируется на разработке и производстве вакуумного технологического оборудования для широкого спектра задач. Одним из перспективных направлений АО «Кварц» является производство вакуумного напылительного оборудования для микроэлектроники. Для этих целей компания «Кварц» предлагает ряд вакуумных напылительных установок с термическим испарением и магнетронным распылением с предварительной ионно-лучевой очисткой подложек.

Оборудование для производства изделий электронной техники

Разновидности и номенклатура произведенных установок, созданных компанией, постоянно растет за счет выполненных проектов по производству специального вакуумного оборудования, соответствующего требованиям заказчиков.

Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 29М»

Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 29М»

Установка предназначена для нанесения методом магнетронного распыления металлических пленок алюминия, титана, никеля, молибдена при производстве изделий электронной техники на пластины Ø 76 мм, Ø100 мм.

Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 5М»

Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 5М»

Установка предназначена для нанесения методом магнетронного распыления металлических пленок алюминия, титана, никеля, молибдена при производстве изделий электронной техники на пластины Ø 76 мм,  Ø100 мм,  Ø150 мм, 60х48 .

Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 9М»

Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 9М»

Установка предназначена для осаждения многослойных тонких пленок из металлов, сплавов и диэлектриков, методом термического испарения материала электроннолучевыми испарителями на кремниевые подложки диаметром до 100мм.
Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-3

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-3

Установка УВН-74П-3М-3 предназначена для двухстороннего нанесения проводящих слоев различных материалов методом термического, или магнетронного напыления пленочных элементов и схем.

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-2

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-2

Установка УВН-74П-3М-2 предназначена для двухстороннего нанесения проводящих слоев различных материалов (например, меди, хрома, алюминия, титана) в высоком вакууме методом магнетронного распыления для отработки технологии и серийного производства пленочных элементов и схем.

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-1

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-1

Установка УВН-74П-3М-1 предназначена для двустороннего нанесения проводящих слоев различных материалов (например, меди, хрома, алюминия, титана) в высоком вакууме методом термического испарения для отработки технологии и серийного производства пленочных элементов и схем.

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-71П-3М-1

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-71П-3М-1

Установка УВН-71П-3М-1 предназначена для одностороннего нанесения резистивных и металлических слоев в высоком вакууме методом термического испарения на керамические, кремниевые и другие плоские подложки диаметром до 100 мм.


Оборудование для нанесения износостойких, коррозионностойких и декоративных покрытий

Комплекс вакуумного напыления КВН-ШПЭ-1.5-002

Комплекс вакуумного напыления КВН-ШПЭ-1.5-002

Комплекс предназначен для нанесения на внешнюю поверхность деталей машин, оснастку штампов, режущий инструмент, лопаток турбин многослойных покрытий из углерода, многокомпонентных немагнитных сплавов любого легирования, чистых металлов, нитридов, карбидов и оксидов.
Установка вакуумного дугового напыления УВНД-80-005

Установка вакуумного дугового напыления УВНД-80-005

Установка предназначена для нанесения износостойких упрочняющих и коррозийностойких покрытий на металлические детали ионно-плазменным методом. Установка используется для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов применяемых для металлообработки.
Автоматизированная установка нанесения упрочняющих покрытий УРМ3.279.070

Автоматизированная установка нанесения упрочняющих покрытий УРМ3.279.070

Предназначена для нанесения сверхтвердых покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.
Автоматизированная установка нанесения упрочняющих покрытий УРМ3.279.079

Автоматизированная установка нанесения упрочняющих покрытий УРМ3.279.079

Установка предназначена для нанесения сверхтвердых  покрытий различных металлов и их соединений, а также алмазоподобных пленок на основе аморфного углерода и может быть использована для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, изделий микромеханики, а также для формирования биофункционального покрытия на изделия медицины.

Оборудование для нанесения оптических покрытий

Автоматизированная установка вакуумного нанесения УРМЗ.279.072

Установка предназначена для нанесения методами термического испарения широкого класса оптических покрытий (просветляющих, отражающих, светоделительных) с высокими эксплуатационными характеристиками.

Автоматизированная установка вакуумного нанесения УРМЗ.279.068

Установка предназначена для нанесения методами термического испарения широкого класса оптических покрытий (просветляющих, отражающих, светоделительных) с высокими эксплуатационными характеристиками.