Запасные части и узлы для СТО

В рамках совершенствования вакуумных установок напыления наше предприятие, наряду с модернизацией вакуумных систем, автоматизации технологического процесса, освоило ряд унифицированных узлов и систем для вакуумных установок, находящихся в эксплуатации. 

Для установок вакуумного напыления УВН-73П-2, УВН-74П-3, УВН 74П-3М-1, УВН 74П-3М-2, УВН 74П-3М-3

Безшестереночный барабан для двустороннего нанесения покрытий с регулируемой скоростью вращения

Патент на изобретение №2572658 от 14.12.2015 г.

Безшестереночный барабан при сохранении основных технических параметров классической схемы имеет ряд особенностей:

  • полное исключение недостатков старой конструкции, таких как, достаточно быстрый износ элементов шестереночных передач, образование металлической стружки в вакуумной камере, отсутствие точного геометрического позиционирования подложек над испарителями, касание подложкодержателей друг за друга и как следствие заклинивание всей системы;
  • отсутствие необходимости регулировки и настройки в процессе всего срока эксплуатации;
  • отсутствие загрязнения напыляемых пленок частицами от механизма поворота;
  • простое техническое обслуживание;
  • обеспечение, в сочетании с модернизированным блоком испарителей, разброса по толщине напыляемых пленок, не более ±10%;
  • увеличение коэффициента выхода годных подложек.

Заслонка с пневмоприводом

Патент на изобретение №2651838 от 08.09.2016 г.

Конструкция данной заслонки испарителей имеет ряд преимуществ по сравнению с существующей:

  • электромеханический привод заменен на трехпозиционный пневматический привод;
  • вместо конической передачи разработана оригинальная винтовая передача;
  • лепестки быстросъемные, что позволяет без затруднений удалить с них продукты напыления;
  • настройка раскрытия и закрытия створок на нужный угол со временем не нарушается, что исключает брак при напылении.

Электроколлектор

Патент на изобретение №2692704 от 26.06.19 г.

Раннее изготовленные коллекторы имеют ряд недостатков:

  • скользящие точечные контакты интенсивно изнашиваются от трения;
  • принимаемые сигналы с датчиков температуры и сопротивления "свидетеля" не соответствуют действительным, либо вообще пропадают, что приводит к браку продукции.

В запатентованном нами коллекторе используются плоские контакты с малым удельным сопротивлением и малым коэффициентом трения, в результате чего:

  • многократно удлинён срок службы коллектора, за счёт снижения износа контактов;
  • обеспечивается точность показаний датчиков температуры и   сопротивления напыляемого покрытия.

Для установки вакуумного напыления УВН-71П-3

Комплект для подачи порошковых резистивных сплавов на термический испаритель

Новинкой комплекта является блок управления вибропитателем «Кварц», предназначенный для регулирования скорости потока резистивного порошкового сплава в широком диапазоне сопротивления напыляемой пленки как в ручном, так и в автоматическом режимах.

Меняя частоту и амплитуду вибраций чаши вибропитателя, можно использовать любые резистивные порошковые сплавы. Беспрепятственное скользящее движение частиц порошка обеспечивается за счет точной геометрии спиральной канавки, выполненной на станке ЧПУ, а также высоким классом шероховатости ее поверхности.

Блок управления вибропитателя универсальный. Его можно использовать как в установках, находящихся в эксплуатации, так и в новых разработках установок вакуумного нанесения резистивных слоев в широком диапазоне сопротивлений.

Блок управления вакуумной системой «Кварц»

БУВС-К предназначен для управления вакуумной системой автоматизированных технологических установок вакуумного напыления. 

Блок управления вакуумной системой имеет запас функциональных возможностей, обеспечивающих универсальность его применения, как в создаваемой новой технике, так и для модернизации раннее выпускаемого оборудования.

Блок водораспределительный универсальный (БВР)

Блок обеспечивает распределение охлаждающей жидкости в составе автоматизированных установок вакуумного напыления. Объем охлаждающей воды протекающей к каждому узлу оборудования, измеряется с помощью датчика расхода жидкости. Производится измерение давления и температуры на входном и сливном коллекторах при помощи датчиков давления и температуры. 

Обмен данными между программируемым логическим контроллером блока и компьютером установки осуществляется через интерфейс Ethernet по протоколу ModBUS-RTU. 

Для установок УВН-73П-2, УВН-74П-3

Электронный испаритель с кольцевым катодом

Испаритель предназначен для испарения меди на диэлектрические подложки размером до Ø100 мм.

Габаритные размеры цилиндрического тигля испарителя:

  • высота 35 мм;
  • диаметр 32 мм;
  • объем тигля 28 см3

Основные характеристики:

  • мощность БП испарителя 3 кВТ;
  • максимальное выходное напряжение блока питания испарителя 3000 В;
  • максимальный выходной ток блока питания испарителя 1.

Запасные части

На предприятии имеется большой выбор резинотехнических изделий к ранее выпускаемому нами оборудованию – кольца различных размеров и сечений, манжеты армированные и воротниковые, сильфоны гофрированные. РТИ могут быть изготовлены из вакуумной резины 9024, 7889, ИРП1345.

АО «Кварц» имеет большой станочный парк и современное оборудование, что позволяет изготавливать детали и узлы различной конфигурации и сложности, такие как каркасные изделия, вакуумные камеры, крышки и двери вакуумных камер, вакуумные шиберные затворы, вакуумные трубопроводы, направляющие для перемещения крышек, охлаждаемые столы – подложкодержатели для проведения процессов плазмохимического травления, а также другие изделия по желанию заказчика.