АО «Кварц»

Разработка
          Производство
                    Импортозамещение

8 (4012) 56-43-01

г. Калининград,
ул. Мусоргского 10

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-71П-3М-2

Установка УВН-71П-3М-2 предназначена для одностороннего нанесения резистивных и металлических слоев в высоком вакууме методом магнетронного напыления на керамические, кремниевые и другие плоские подложки размером до Ø 100 мм.

Установка комплектуется тремя магнетронами и источником ионной очистки.

Установка обеспечивает:

· очистку поверхности подложки перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;

· нагрев подложек до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;

· автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;

· контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля;

Основные технические характеристики

Количество подложек размером 60х48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. - 19.

Диапазон температуры нагрева подложек, 0С - 100-350.

Скорость вращения карусели, об/мин - 10-60

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. - 80

На нашем сайте мы используем cookie для сбора информации технического характера.

В частности, для персонифицированной работы сайта мы обрабатываем IP-адрес региона вашего местоположения.

Ок