АО «Кварц»

Разработка
          Производство
                    Импортозамещение

8 (4012) 56-43-01

г. Калининград,
ул. Мусоргского 10

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-71П-3М-1

Установка УВН-71П-3М-1 предназначена для одностороннего нанесения резистивных и металлических слоев  в высоком вакууме методом термического напыления  на керамические, кремниевые и другие плоские подложки размером до Ø 100 мм.
Установка комплектуется тремя резистивными испарителями и источником ионной очистки.
Установка обеспечивает:
· очистку поверхности подложки перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
· нагрев подложек до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
· автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
· контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля;
Основные технические характеристики
Количество подложек размером 60х48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. - 19.
Диапазон температуры нагрева подложек, 0С  -  100-350.
Скорость вращения карусели, об/мин  - 10-60
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. - 80

На нашем сайте мы используем cookie для сбора информации технического характера.

В частности, для персонифицированной работы сайта мы обрабатываем IP-адрес региона вашего местоположения.

Ок